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[KPCA 전용] ALD, CMP, Metal 기술

[KPCA 전용] ALD, CMP, Metal 기술

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30 일
2 차시

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[KPCA 전용] 반도체 공정기술

강의목차(2 강)

1. 원자층 증착법 원리와 공정이해(Atomic Layer Deposition, ALD) 34 분

2. CMP process 23 분