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Semiconductor Plasma Technology : equipment basics
Course Info
- 30 days
- 5 lessons
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Syllabus(5 Lectures)
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1. 플라즈마 기초 I 26 min.
2. 플라즈마 기초 II 29 min.
3. 진공 및 DC 플라즈마 25 min.
4. RF 기초 29 min.
5. 설비/장치 SW 기술 - RF 플라즈마 소스 25 min.